回到北大后。
许一秋没有多做停留，很快就和吴静吴富国两人前往了科技部的地下实验室。
“X2000型准分子激光机的问世，标志着我们国产光刻机已经进入关键研发阶段了。”
“但从研发进度来看，我们还有一段很长的路要走。”
“目前，从光学系统来看，投影系统是一大难题。”
走入科技部内，吴富国一边分析，一边按下了电梯按键。
投影系统属于光刻机光学系统中的一个重要子系统。
它包含复杂的透镜组合来完成光束成像和图案转移。
投影......
第64章 投影系统
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