脑海中想到的东西太多,宋初苓足足梳理了两天。
最后,她选出了两个核心。
一是光刻机。
其实66年国内就研制出了接触式光刻机。
优缺点十分明显。
优点是能够保证高精度和高效率,同时可以根据生产需求进行灵活调整。
但缺点是成本非常高,而且由于涂覆光刻胶的图片与掩膜的接触会产生缺陷,每一次接触过程都会在原片和掩膜上造成一定缺陷,这就导致该设备职能用于能容忍较高缺陷水平的器件研究。
这就很致命。
所以她打算先把投影式光刻......
脑海中想到的东西太多,宋初苓足足梳理了两天。
最后,她选出了两个核心。
一是光刻机。
其实66年国内就研制出了接触式光刻机。
优缺点十分明显。
优点是能够保证高精度和高效率,同时可以根据生产需求进行灵活调整。
但缺点是成本非常高,而且由于涂覆光刻胶的图片与掩膜的接触会产生缺陷,每一次接触过程都会在原片和掩膜上造成一定缺陷,这就导致该设备职能用于能容忍较高缺陷水平的器件研究。
这就很致命。
所以她打算先把投影式光刻......
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